数字压力表的原理

 当今使用的压力表使用称为隔膜的压力接收元件来测量压力。来自流体的压力导致隔膜轻微变形。利用膜片的变形变化来测量压力有两种方法:半导体应变计法和电容法。

 
1.半导体应变计型
该方法使用电传感器来检测隔膜的变形并测量压力。根据内部结构不同,半导体应变计分为体型半导体应变计、沉积(薄膜)型半导体应变计、扩散型半导体应变计。
 
块状半导体应变计
半导体应变计安装在金属膜片上使用。
 
蒸发(薄膜)型半导体应变计
半导体应变计直接在金属膜片上形成薄膜。由于它不受粘附性的影响,因此被广泛使用。
 
扩散型半导体应变计
这是利用单晶硅晶片制作隔膜的方法。虽然不能承受高压,但可以量产,而且价格低廉。
 
2. 电容式
该方法涉及在隔膜的对面放置一个电极,并检测隔膜的位移作为电容。在该方法中,隔膜材料可以是金属、陶瓷或硅胶。